
產品型號:
更新時間:2025-11-20
廠商性質:代理商
訪 問 量 :101
028-68749778
產品分類
| 品牌 | KLA-Tencor | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀
美國KLA科磊的Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀是一款高精度、多功能的表面形貌測量設備,專為科研與工業應用設計。以下是對該產品的詳細簡介:
Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀采用創新的光學杠桿傳感器技術,結合接觸式探針測量,實現了從納米級到1200微米(1.2毫米)的2D和3D臺階高度測量。該設備不僅支持臺階高度的精確測量,還能進行粗糙度、波紋度、翹曲度和應力的量化分析,為材料表面形貌研究提供了全面的解決方案。
?高分辨率與大垂直范圍?:光學杠桿傳感器技術提供了亞埃級的分辨率和1200微米的垂直測量范圍,確保了測量的高精度和廣泛適用性。
?低觸力測量?:探針作用力可調節范圍從0.03毫克至15毫克,適用于軟材料(如光刻膠)和硬材料的測量,避免了對樣品的損傷。
?多種探針選擇?:提供多種探針針尖半徑(從100納米到50微米不等)和角度(20度至100度),以適應不同結構和材料的測量需求。
?優良的圖像控制與校正?:配備500萬像素高分辨率彩色相機,支持梯形失真校正和圓弧校正,消除了側視視圖和探針弧形運動引起的誤差。
?用戶友好的軟件界面?:Apex分析軟件具備調平、濾波、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術,支持ISO粗糙度計算方法和多種語言,便于數據分析和報告編寫。
Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀廣泛應用于半導體、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫療設備等行業。它能夠量化蝕刻、濺射、沉積、旋涂、化學機械研磨等工藝中沉積或去除的材料厚度,測量樣品表面的粗糙度和波紋度,以及評估翹曲度和應力變化,為工藝優化和質量控制提供了重要數據支持。