產品分類
德國Bruker/布魯克 Dektak XTL探針式輪廓儀 Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品,為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計,具有易用的聯鎖門,是當今苛刻的生產車間環境的的理想之選。其雙攝像頭架構可增強空間感知能力,其高自動化水平可更大限度地提高測試通量。
德國Bruker/布魯克 觸針式輪廓儀Dektak Pro Dektak Pro 提供高分辨率、低噪聲地板和任何商業上可用的觸針輪廓儀中具準確性和精確性的數據。*的測量和分析技術大限度地提高了可重復性和準確性,使單納米步高測量和優于 4 Å 的可重復性成為可能。