美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step® D-500探針式輪廓儀是一款高精度的表面形貌測量設備，專為臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量而設計。以下是對該產品的詳細簡介：

核心技術

Alpha-Step® D-500采用創新的光學杠桿傳感器技術，提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。這種技術使得設備能夠精確測量從幾納米到1200微米的臺階高度，同時支持低觸力測量，觸力范圍可調節至0.03至15毫克，適用于多種軟硬材料的精確測量。

主要功能

1. ?臺階高度測量?：能夠量化蝕刻、濺射、沉積、旋涂、CMP等工藝中沉積或去除的材料量。

2. ?粗糙度與波紋度測量?：通過軟件過濾功能，將測量值分離為粗糙度和波紋度部分，并計算均方根（RMS）粗糙度等參數。

3. ?翹曲度與形狀測量?：可測量表面的2D形狀或翹曲，包括晶圓翹曲和透鏡等結構的高度和曲率半徑。

4. ?應力測量?：通過測量薄膜沉積等工藝導致的晶圓表面形貌變化，并應用Stoney方程計算應力。

設備特點

• ?高分辨率?：垂直分辨率可達亞埃級別，確保測量數據的精確性。

• ?大測量范圍?：支持從納米級到毫米級的臺階高度測量。

• ?用戶友好?：配備500萬像素高分辨率彩色攝像頭和用戶友好的軟件界面，便于操作和數據解析。

• ?緊湊設計?：體積小巧，適合實驗室和生產線等空間有限的環境。

應用領域

Alpha-Step® D-500廣泛應用于半導體、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫療設備等多個行業，是高校、研究機構和實驗室進行表面形貌分析的重要工具。