日本OTSUKA大塚膜厚線掃描膜厚計®在線型

日本OTSUKA大塚膜厚線掃描膜厚計®在線型

日本OTSUKA大塚的在線型線掃描膜厚計是一款專為工業(yè)在線檢測設(shè)計的高精度、高效率膜厚測量設(shè)備。該產(chǎn)品采用的線掃描技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)對整面薄膜的快速、非接觸式測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)材料及薄膜制造等領(lǐng)域。?核心技術(shù)與特點?：?線掃描測量方式?：與傳統(tǒng)的點測量方式不同，該設(shè)備采用線掃描技術(shù)，能夠一次性測量整條線上的膜厚分布，大大提高了測量效率。?高精度與高再現(xiàn)性?：設(shè)備具備高精度、高再現(xiàn)性的測量能力，能夠準(zhǔn)確捕捉薄膜厚度的微小變化，確保測量結(jié)果的可靠性。?寬幅樣品測量?：該設(shè)備可對應(yīng)寬幅樣品測量，TD方向可測量10m，滿足大尺寸薄膜的測量需求。?非接觸式測量?：采用非接觸式測量方式，避免了對樣品的損傷，同時適用于各種形狀和材質(zhì)的樣品。?獨立測量頭設(shè)計?：設(shè)備配備獨立測量頭，支持定制化嵌入客戶系統(tǒng)，滿足在線檢測（inline）需求。?應(yīng)用場景?：?半導(dǎo)體行業(yè)?：用于測量晶圓上的薄膜厚度，如SiO?、SiN等絕緣膜，以及光刻膠的厚度控制。?顯示面板行業(yè)?：適用于LCD、TFT、OLED等顯示器的薄膜測量，確保顯示質(zhì)量。?光學(xué)材料行業(yè)?：用于測量濾光片、抗反射膜等光學(xué)薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。?薄膜制造行業(yè)?：支持各種薄膜材料的厚度測量，如AR膜、HC膜、PET膜等。?優(yōu)勢與價值?：該在線型線掃描膜厚計以其高效、精準(zhǔn)的測量能力，為工業(yè)生產(chǎn)提供了強有力的支持。其非接觸式測量方式保護(hù)了樣品，同時寬幅測量能力滿足了大規(guī)模生產(chǎn)的需求。此外，設(shè)備的獨立測量頭設(shè)計使得其能夠靈活集成到各種生產(chǎn)系統(tǒng)中，實現(xiàn)自動化檢測，提高了生產(chǎn)效率。