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日本SEM坂本電機有線 2 軸精密數字水平儀 與其他重型精密水平儀不同,我們的精密數字水平儀結構緊湊、重量輕,使其易于在無法裝載重物的晶圓和機器人手臂上進行測量。 因此,可以節省人力并減少大型設備的測量和調整工時。 此外,由于 X 軸和 Y 軸的角度精度± 0.001 度(17.5μm/m),因此精度非常高,因此這些功能可用于使用半導體制造設備等精密機械。 常用于需要精確調整的設備的組裝和安裝。
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