
產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-21
廠商性質(zhì):代理商
訪 問 量 :91
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | KLA-Tencor | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀
Tencor® P-7探針式輪廓儀是美國KLA科磊公司推出的一款高精度、多功能的表面形貌測量設備,專為半導體、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、數(shù)據(jù)存儲及汽車電子等行業(yè)設計。該設備基于市場的Tencor P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng),繼承了其測量性能,同時提供了更高的性價比。
?核心功能?:
?多維度測量?:Tencor® P-7支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量,掃描范圍可達150毫米,無需圖像拼接,滿足大尺寸樣品的測量需求。
?恒力控制技術?:探針作用力可在0.03至50毫克范圍內(nèi)動態(tài)調(diào)節(jié),確保測量穩(wěn)定性,尤其適用于光刻膠等軟性材料的精確測量。
?高分辨率成像?:配備500萬像素高分辨率彩色相機,提供清晰的在線影像觀察,支持頂視和側(cè)視光學系統(tǒng),便于樣品對準和缺陷定位。
?智能軟件分析?:Apex分析軟件支持ISO粗糙度計算方法,提供調(diào)平、濾鏡、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析等擴展功能,并支持多語言界面,便于用戶操作和數(shù)據(jù)報告編寫。
?技術優(yōu)勢?:
?高重復性測量?:UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制、良好線性度和精準垂直分辨率,確保測量結(jié)果的穩(wěn)定性和準確性。
?自動化生產(chǎn)能力?:通過測序、圖形識別和SECS/GEM功能實現(xiàn)全自動測量,減少操作員誤操作,提高測量效率。
?廣泛適用性?:支持多種探針和載臺選項,適應不同樣品尺寸和測量需求,包括太陽能板樣品和200毫米通用載臺。
?應用領域?:
Tencor® P-7廣泛應用于半導體制造、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、數(shù)據(jù)存儲及汽車電子等行業(yè),為工藝研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供關鍵數(shù)據(jù)支持,助力提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
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