
產品型號:
更新時間:2025-11-19
廠商性質:代理商
訪 問 量 :105
028-68749778
產品分類
| 品牌 | KOSAKA/小坂研究所 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030

日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030是日本KOSAKA小坂研究所針對微細深孔測量難題研發的高精度接觸式測量儀,融合了產學研合作成果,為半導體、汽車、精密機械等行業提供了可靠的解決方案。該設備采用高彈性光纖維測針,結合激光、三棱鏡與光電二極管構成的傳感測量裝置,能夠以微小的測定力(10μN~500μN)測量直徑最小10μm、最大300μm的深孔內部形狀,垂直分辨率達10nm,重復精度在20nm以下(以孔徑80μm為例),滿足微米/納米級精度需求。
FP3030的核心優勢在于其突破傳統測量的技術瓶頸。面對極小寬深比的深孔,傳統接觸式測量因測針直徑過粗或針尖角度過大,難以深入測量側壁粗糙度;非接觸式光學測量則受限于光的干涉、對焦困難及數據點不足。FP3030通過質輕纖細的光纖維測針,以圓周型軌跡接觸深孔側壁采集數據,光電二極管受光量隨測針位置變化,從而精準測量內徑、外徑、深度、側壁形狀等參數。其測量軟件支持真圓度、圓柱度、直徑、臺階、槽寬、直角度、粗糙度等多種參數解析,功能全面。
FP3030已廣泛應用于多個領域:半導體封裝TSV(硅通孔技術)的側壁粗糙度測量(孔徑10μm,深度100-500μm)、汽車燃料噴嘴口形狀測量(孔徑10-100μm)、打印機油墨噴嘴口內部形狀測量(孔徑數十微米)、紡織機械線嘴內部形狀測量(孔徑10-100μm)等。其高精度、高重復性及非破壞性測量特點,使其成為質量控制與研發分析的理想工具,既能滿足車間環境中的快速幾何測量需求,也可勝任實驗室對高精度測量的嚴苛要求。