
產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-19
廠商性質(zhì):代理商
訪 問 量 :39
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | KOSAKA/小坂研究所 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET4000A代理

日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET4000A代理是日本KOSAKA小坂研究所推出的一款高精度、多功能全自動微細形狀測定機,專為半導(dǎo)體、平板顯示、硬盤制造及精密加工等領(lǐng)域設(shè)計,能夠滿足納米級表面形貌分析的嚴苛需求。
?核心性能參數(shù)方面?,ET4000A展現(xiàn)出的精度與穩(wěn)定性:
?測量范圍?:Z軸最大測定范圍達100μm,X軸移動量100mm,支持最大工件尺寸210mm×210mm(可選配至300mm×400mm),適應(yīng)不同尺寸樣品需求。
?分辨率與重復(fù)性?:Z軸分辨率0.1nm,重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi),臺階重現(xiàn)性可達0.2nm以下,確保微小臺階的精確捕捉。
?測定力與觸針?:測定力范圍0.5μN至500μN,觸針半徑0.5μm、2μm可選,適應(yīng)軟質(zhì)與硬質(zhì)材料表面測量。
?驅(qū)動與定位?:采用直動式驅(qū)動方式,移動真直度0.005μm/5mm,線性尺分解能0.01μm,位置定位再現(xiàn)性±5μm,保障長距離測量的高精度。
?功能特點上?,ET4000A具備多項創(chuàng)新設(shè)計:
?超高直線度保證?:確保量測圖形不受移動軸影響,支持長距離量測及表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力解析。
?*檢出器?:采用超低噪音直動式LVDT傳感器,減少測量誤差。
?高分辨率定位?:配備高分辨率CCD,實時觀測測量過程,提升操作便捷性。
?中文化軟件?:支持60多種測量參數(shù),可對應(yīng)各種國際規(guī)范,滿足多樣化分析需求。
?應(yīng)用領(lǐng)域廣泛?,ET4000A適用于半導(dǎo)體硅片表面形貌、臺階高度、薄膜厚度測量,平板顯示基板平整度、段差檢測,硬盤盤片表面粗糙度、磁頭飛行高度分析,以及精密機械零部件的表面形狀、尺寸精度測量等,為工藝控制與研發(fā)分析提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
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