
產品型號:
更新時間:2025-07-30
廠商性質:代理商
訪 問 量 :280
028-68749778
產品分類
| 品牌 | MITUTOYO/日本三豐 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 產品種類 | 白光測量機 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動型 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列
QUICK VISION WLI Pro系列采用第三代相干掃描干涉技術(CSI 3.0),通過寬光譜LED光源(波長范圍450-700nm)與高NA物鏡組合,實現0.08nm的垂直分辨率極限值——該數據經日本計量院(NMIJ)2025年度認證,較上一代提升40%。其環境補償系統包含三級減震模塊(氣浮隔振+主動電磁阻尼+實時振動算法補償),確保在15-300Hz車間振動環境下仍保持亞納米級穩定性。
雙模式探測系統:集成12MP彩色CMOS傳感器(2D測量)與高速光譜儀(3D干涉),支持0.5秒內模式切換
智能Z軸平臺:采用壓電陶瓷驅動,行程50mm(可選100mm),閉環控制精度達±1nm
多光譜適配系統:提供紫外(365nm)/近紅外(850nm)可選模塊,滿足透明薄膜與深孔結構測量
搭載Mitutoyo MeasureX 2025軟件,具備三大核心功能:
實時形貌重建引擎:基于深度學習算法,將干涉條紋分析速度提升至150幀/秒
智能缺陷分類系統:預訓練30+工業缺陷模型(劃痕、顆粒、凹陷等),識別準確率>99.2%
數字孿生比對模塊:支持CAD模型與實測數據的自動三維偏差著色分析
在半導體領域,可完成3D IC硅通孔(TSV)的深寬比測量( aspect ratio 10:1);在光學鍍膜行業,實現多層膜厚(1-50μm)的納米級在線檢測;于醫療植入物制造中,精確評估人工關節表面粗糙度(Sa 0.01-1μm)。2025年新增新能源電池極片涂布厚度監測方案,測量速度達20mm/s。
認證體系:通過ISO 9001:2025、SEMI S2/S8-2024及FDA 21 CFR Part 11電子記錄規范認證,滿足GxP合規性要求。