
產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-07-26
廠商性質:代理商
訪 問 量 :280
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | MITUTOYO/日本三豐 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)品種類 | 龍門式 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動型 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
SP25M采用革命性的三級減震架構:(1)陶瓷基座內(nèi)置空氣阻尼器,衰減環(huán)境振動達90%;(2)鈦合金探針臂重量僅0.8g,較傳統(tǒng)鋼制結構減輕65%;(3)納米級預緊力調節(jié)機構,通過0.01N·m扭矩螺絲實現(xiàn)測針夾持微調。這種設計使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm,為目前同精度等級最小體積。
核心測量模塊包含:
光學編碼器:采用衍射光柵技術,分辨率達0.5nm
電容式位移傳感器:帶寬1kHz,響應時間<0.5ms
溫度補償單元:內(nèi)置4個PT100傳感器,實時修正熱變形誤差
測試數(shù)據(jù)顯示,在ISO Class 4潔凈環(huán)境下,對硅晶圓標準片進行100次重復測量,Z軸標準偏差僅為1.2nm(依據(jù)ISO 4287標準)。
在豐田汽車噴油嘴檢測項目中:
測量對象:Φ0.12mm微孔內(nèi)壁粗糙度
對比設備:傳統(tǒng)接觸式輪廓儀
SP25M優(yōu)勢:
測量時間縮短40%(單孔3分鐘→1.8分鐘)
數(shù)據(jù)完整性提升(可獲取傳統(tǒng)設備無法觸及的底部30%區(qū)域)
劃傷率降至0.1%以下
通過標準化接口(符合ISO 9409-1)可快速對接:
三豐CV-3200輪廓儀(需選配MNT-20適配器)
蔡司O-INSPECT多傳感器測量機
基恩士VHX-6000數(shù)字顯微鏡
典型配置包含:
SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測針 ×3 校準證書(JIS B 7506) ×1 防震運輸箱(IP67) ×1
日常維護:每周用超純乙醇清潔測針接觸面
周期校準:建議每500小時或溫度變化>5℃時進行
壽命指標:
測針:50萬次接觸(R0.1μm規(guī)格)
傳感器:≥3年(基于加速老化試驗)
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